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| ドライポンプ | ツインスクリュー形ドライポンプシステム SDPSシリーズ |
| 排気セット | ターボ分子ポンプ排気セット UHVシリーズ |
| 真空計測機器 | 全自動デバイス専用形ヘリウムリークデテクタ MSE-4000 |
| 質量分析計形ヘリウムリークデテクタ MSE-3000 Various |
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| 全自動可搬ドライ形ヘリウムリークデテクタ MSE-2000DRY |
| 真空ポンプ | 直結形油回転真空ポンプ GDHシリーズ |
| 真空応用装置 | マグネトロンス バッタリング装置(高温・三元同時) HSR-552S |
| 真空蒸着装置 E-250A |
| 液体材料気化装置 | 液体材料気化装置 SLVS-4410 |
| 真空炉 | 真空加圧焼結急速冷却炉 PVSGgr20/20 |
| 真空・加圧ホットプレス炉 PHPgr18/15 |